电子技术与软件工程

2020, No.173(03) 89-90

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一种质谱仪真空测量系统的研制

蔡龙;

摘要(Abstract):

本文介绍了一种基于STM32微控制器的质谱仪的真空测量系统。此系统由真空规、离子泵电源、信号调理电路、通讯接口和软件组成,兼容分子泵和离子泵两种真空平台,具有较高的集成度,紧凑的体积和较低的功耗。测试结果证实了所设计的真空测量系统能够实时、准确地监测质谱仪真空度,在满足仪器正常使用需求的同时,也提高了仪器的可靠性。

关键词(KeyWords): 真空测量;质谱仪;STM32;数据采集

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 蔡龙;

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